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FTIR用于半导体行业的制造过程和排放监测

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祝贺我们的团队在最新的国际招标项目中,中标两套高分辨率全加热移动式FTIR多气体连续在线监测系统,用于半导体行业的制造过程和排放监测,可同时测量45种半导体行业的特殊工艺气体和排放法规所要求的污染物。