page contents

残余气体分析

残余气体分析是便携式质谱仪的典型应用

Aspec便携式残留气体分析仪(RGA)是一款结构紧凑、设计坚固的高精度分析仪,采用了所有最新的质谱仪和真空泵技术。适用于在工业现场或大型试验室,需要经常变化测试地点的应用。可以用于在线检测过程应用中的痕量残留气体成分,检测限低、响应快速、几乎能测量所有气体。

残留气体分析仪的四级杆检测器具备可变的质量范围,分别是0-100amu、0-200amu或0-300amu。分析仪维护成本低,具有耐腐蚀的采样接口,具备多气体定量分析的高级化学计量学功能。

基本原理

样品气体被离子源电离,由此产生的离子加速并进入到四级杆质量分离器,将直流和交流电压施加到四个圆柱形电极(四极),实现对不同质量的离子的分离。 之后,通过检测器检测离子电流强度。

检出限和量程范围

依据气体成分的不同,对应不同的检测响应时间要求,检出限通常为ppb水平或小于1ppm。检测动态范围涵盖9个数量级,检测范围覆盖从ppb到百分比浓度。

采样流量

采用毛细管采样时,采样流量仅为20毫升/分钟,适用于对微小泄露的检测。在对工艺过程气体背景中的残留气体进行检测时,小采样流量对生产过程的影响可以忽略。

常见的用途

常见的应用场景包括检测真空环境的泄露,检测管道阀门等的泄露,通过特征指纹图谱识别过程背景气体中的杂质,以及测量杂质气体的浓度,检测氦气和确定气体管线吹扫的有效性。

测量响应时间

分析仪的响应时间需要考虑采样时间和分析时间。毛细管进样的采样时间小于100毫秒,薄膜进样的采样时间小于1秒。每个质量数的分析时间最短是20毫秒。

可以检测多少气体成分

分析仪可以同时检测64种不同的气体成分。在配备NIST标准谱库后,总计可以检测几千种不同的气体。

技术规格和特点优势

质量范围:0-100amu/0-200amu/0-300amu可选
离子源电压:70eV(双离子源)(可选120eV)
检测器:Channeltron /法拉第组合
质量数稳定性:优于±0.1amu/8小时
质量数分辨率:0.5amu
采样流量:20毫升/分钟
泵系统:70-300升/秒(选配内置涡轮分子泵)
浓度显示单位:ppt、ppb、ppm、mg/m3、%
检测动态范围:9个数量级
四级杆质量分析器真空度:优于1×10-6mbar
样气最高温度:1300℃
数据通信:OPC(内置I/O:4个模拟输入/输出,2个模拟输入,2个数字端口)
电源:90-250VAC,50/60 Hz,<3A
功耗:小于500W
外形尺寸:500mm x 380mm x 230mm(W×H×D)
重量:小于23公斤
采样接口:1/4英寸swagelock

单人轻松携带,体积小巧
快速分析速度(每种气体小于20毫秒)
可以用一台仪器测量数百种气体(同时测量多达64种气体)
结构紧凑牢固,适于在各种工业和野外现场条件使用
预热时间超快,仅为30秒
可以测量从ppb到%的全部浓度范围
多种进样口和进样方式可供选择:毛细管气体进样,薄膜气体和液体进样
NIST 谱库自动检索支持,用于未知样品鉴定和分析
超快的进样时间:毛细管采样小于100毫秒,薄膜采样小于1秒

半导体生产过程
环境空气测量
泄漏测试
食品行业质量测试
氢(H2)燃料分析
H2生产过程
BTEX定量检测
乙烯和环氧乙烷的生产
呼吸分析
气体混合和大量气体生产

最快10毫秒的响应时间,了解真实的反应过程,工艺变化和瞬态排放浓度
一台仪器可以测量几百种气体成分,适用于各种各样的测试条件
为客户节约大量不必要的测试设备重复采购投入
ppb/ppm的检出限和测量精度,特别适用于残留痕量气体检测
为确保产品质量和生产安全性提供充分的保障
便携式设计,专为经常变换测量地点的应用要求而设计
现场实现实验室精度的直接测量
为每位客户制定详细的年度维护及预防性维修方案
保证设备长期连续可靠运行,真正实现极低的使用和维护成本
便捷的操作和维护

0-100amu/0-200amu/0-300amu三种不同质量数范围
毛细管进样(常规气体检测,响应时间100ms以内)
膜进样(含水分或液体的样品及低浓度VOC检测,响应时间1s)
120eV高能量离子源
其它规格的特殊定制的采样系统
内置旁路采样隔膜泵(用于测量H2和He气)
NIST 谱库自动检索支持(用于未知样品鉴定和分析)

催化剂研究
化学反应检测
纯气体质量检查
反应器过程检测
泄漏点检测
VOC分析
残余气体分析
医疗气体分析
环境检测
发酵过程检测
半导体行业气体检测
燃烧过程分析
TGA-MS组合
受污染的土壤和水检测
真空处理检测
加热炉反应过程检测
废气排放检测

让我们共同开启一段全新的旅程吧!

Whether you want to tell us about the issues that concern you, talk about any possible opportunities to work together or want to know more about our products and industry solutions, please do not hesitate to contact us by leaving a message here or call us at +86 10 63290650. We will get back to you as soon as possible.

通过以下的地址,电话或邮件,您可以联系到我们

北京市丰台区南三环西路78

北京万兴大厦

B1-0001

+86 10 63290650

info@palmarytech.com